用途
電子冷凍方式を用いた±0.05℃の高精度型、投げ込み式・循環式のコンパクト型､薬液の
ダイレクト温度制御装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。半導体製
造装置・液晶関連製造装置・電子顕微鏡といった研究実験装置など、各種機器の局所温調
や薬液温調などに利用されています。
こんな分野で利用されています。
- 半導体産業（ウェハレジスト液・エッチング液温調、製造装置温調）
- 液晶・精密機器（液晶ガラス塗布液温調、製造装置温調）
- 化学・薬品（薬液温調）
- 医療機器・分析機器
- 理化学分野
高精度水用温度調節機 プレシジョンチラー/PEC（水槽内蔵）
- ヒートポンプバランス制御制御による超省エネで従来のPID制御方式と比較して最大80％の電力カットを実現
- 負荷全域で±0.05℃の高精度温調制御
- 完全ヒータレスで10〜60℃設定が可能（PEC400B-VW）
- 大型装置へもダイレクト送水が可能（高揚程ポンプ搭載）
- PC端末からの操作・状態確認が可能、多機能コントローラ搭載
- 適用流体：水
※現在の負荷±10％以内の状態が継続する場合。また、負荷及び冷却水温度と冷却水供給水量安定時は、制御精度±0.05℃。
*能力表示基準：恒温水温度23℃、放熱冷却水温度23℃での運転時。冷却・加熱能力は、表示能力の−5％以上。
電源電圧の相間アンバランスは±3％以内。
小型液体用冷却機 キャリクール（投げ込み式・空冷式）
- 水槽に冷却コイルを入れるだけで冷却
- 軽量設計で手軽に移動、設置が可能
- 耐薬品性に優れた冷却コイルを使用（SUS304とチタンの2種類）
- 温度コントローラ取り付け可能。定値温度制御が可能（オプション）
- 適用流体：工業用エチレングリコール水溶液
※1 制御を行なう場合はオプションの温度コントローラ(ON-OFF制御)が必要です。
※2 液温15℃、周囲温度25℃時
小型液体用冷却機 キャリクール（循環式・空冷式）
- 常温から低温までの精密な温度制御が可能
- 高効率の冷却方式を採用
- 高精度な温度制御を実現
- PID制御と見やすいデジタル表示を採用
- 適用流体：工業用エチレングリコール水溶液
※1 液出入口短絡時、指示・設定分解能
※2 液温15℃、周囲温度25℃
水用温度調節機 リキッドプロセッサー（水槽内蔵・空冷式）
- タンク内蔵型で精密な温度制御が可能
- スリムで狭い場所にも置ける省スペースタイプ
- PID温度調節器、水位計など小さなボディで装備を充実
- 冷媒にR134aを採用し地球環境に配慮
- 適用流体：清水
※1 液温20℃､循環水量6[L/min]､ホース内径φ12（長さ4m）､温度調節器の指示制御精度
※2 電源周波数60Hz､周囲温度20℃時
高精度水用温度調節機 ペルサーモ（水槽内蔵・空冷式）
- 温度制御範囲：15〜30℃、電子冷凍・PID制御
- ±0.05℃以内の高精度温調制御を実現
- 適用流体：清水・蒸留水
高精度水用温度調節機 ペルサーモ（水槽内蔵・水冷式）
- ペルチェ温調方式と定電流制御で、最大60％の省エネ（電流値リニアPID制御）
- 省エネスペース設計、熱交換機・水槽・圧送ポンプを本体に内蔵
- 受注生産品
- 設定温度範囲：10〜60℃
- 温度制御精度：±0.03℃
- 適用流体：清水
※能力表示基準：恒温水温度23℃、放熱冷却水温度23℃、放熱水流量5L/min、周囲温度25℃での運転時。
水用温度調節機 ペルサーモ（水槽なし・水冷式）
- ペルチェ温調方式を採用
- 熱電冷却・加熱による±0.1℃の高精度な温度制御
- 半導体、液晶、光ディスク、バイオ関連等に最適
- 制御精度：±0.1℃
- 温度制御範囲：10〜50℃
- 適用流体：水
※設定温度20℃、冷却水温20℃、冷却水量5L/min、恒温水量5L/min。
薬液用温度調節器 ケミカルペルサーモ（水槽なし・水冷式）
- ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに温調
- 接液部オールテフロンの熱交換器採用により各種薬液に対応可能
- 高精度な温度制御と高耐水圧の熱交換器の実現
- ±0.1℃の制御と0.3MPaの耐水圧構造
- 薬液のダイレクト温調でも不純物イオン濃度はきわめて微量
- コンパクトで業界最軽量
- 専用スイッチング電源を採用
- 適用流体：DIW/DHF/BHF/FPM/SC1
※設定温度25℃、放熱水25℃、放熱水量5〜7L/min、周囲温度25℃時
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また、性能・仕様等の表記はメーカーの基準であり、
使用条件下での性能ではございません。
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