精密温調-液体温調機器/オリオン機械

用途

電子冷凍方式を用いた±0.05℃の高精度型、投げ込み式・循環式のコンパクト型､薬液の ダイレクト温度制御装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。半導体製 造装置・液晶関連製造装置・電子顕微鏡といった研究実験装置など、各種機器の局所温調 や薬液温調などに利用されています。

こんな分野で利用されています。

• 半導体産業（ウェハレジスト液・エッチング液温調、製造装置温調）
• 液晶・精密機器（液晶ガラス塗布液温調、製造装置温調）
• 化学・薬品（薬液温調）
• 医療機器・分析機器
• 理化学分野

高精度水用温度調節機　プレシジョンチラー/PECシリーズ

• ヒートポンプバランス制御制御による超省エネで従来のPID制御方式と比較して最大80％の電力カットを実現
• 負荷全域で±0.05℃の高精度温調制御
• 完全ヒータレスで10〜60℃設定が可能
• 大型装置へもダイレクト送水が可能（高揚程ポンプ搭載）
• PC端末からの操作・状態確認が可能、多機能コントローラ搭載
• 適用流体：水

	PEC400B-VW	PEC900B-VW	PEC1500A-V
温度制御範囲	10.0〜60.0℃		15〜30℃
温度制御精度※	±0.05℃以下
冷却・加熱能力*	1.0kW	4.0kW	6.2kW
使用最低循環量	18/26L/min（揚程）	40L/min（揚程26/40m）	40/85L/min（揚程25m）
温度制御方式	ヒートポンプバランス制御
電源電圧	三相100V、50/60Hz

※現在の負荷±10％以内の状態が継続する場合。また、負荷及び冷却水温度と冷却水供給水量安定時は、制御精度±0.05℃。
*能力表示基準：恒温水温度23℃、放熱冷却水温度23℃での運転時。冷却・加熱能力は、表示能力の−5％以上。
電源電圧の相間アンバランスは±3％以内。

小型液体用冷却機 キャリクール/投げ込み式

• 水槽に冷却コイルを入れるだけで冷却
• 軽量設計で手軽に移動、設置が可能
• 耐薬品性に優れた冷却コイルを使用（SUS304とチタンの2種類）
• 温度コントローラ取り付け可能。定値温度制御が可能（オプション）
• 適用流体：工業用エチレングリコール水溶液

型式	LPB1-J	LPB2	LPB2-J
温度制御範囲※1	-20〜30℃
冷却能力※2	160/190W	370/430W
冷却器材質	チタン	SUS304	チタン
電源電圧	単相100V、50/60Hz

※1 制御を行なう場合はオプションの温度コントローラ(ON-OFF制御)が必要です。
※2 液温15℃、周囲温度25℃時

小型液体用冷却機 キャリクール/循環式

• 常温から低温までの精密な温度制御が可能
• 高効率の冷却方式を採用
• 高精度な温度制御を実現
• PID制御と見やすいデジタル表示を採用
• 適用流体：工業用エチレングリコール水溶液

型式	LPB3
温度制御範囲	-20〜+40℃
制御精度※1	0.1℃
冷却能力※2	500/520W
循環量	10〜16／10〜18.5 [L/min]
電源電圧	単相100V、50/60Hz

※1 液出入口短絡時、指示・設定分解能
※2 液温15℃、周囲温度25℃

水用温度調節機 リキッドプロセッサー

• タンク内蔵型で精密な温度制御が可能
• スリムで狭い場所にも置ける省スペースタイプ
• PID温度調節器、水位計など小さなボディで装備を充実
• 冷媒にR134aを採用し地球環境に配慮
• 適用流体：清水

型式	LCA60
温度制御範囲	+10〜+50℃
制御精度※1	±0.5℃
冷却能力※2	175W
循環量	1.4〜6[L/min]
電源電圧	単相100V、50/60Hz

※1 液温20℃､循環水量6[L/min]､ホース内径φ12（長さ4m）､温度調節器の指示制御精度
※2 電源周波数60Hz､周囲温度20℃時

高精度水用温度調節機　ペルサーモ（空冷式）

• 独自の放熱器により、空冷式では業界最大級の能力
• ±0.05℃以内の高精度温調制御を実現
• 適用流体：清水・蒸留水

高精度水用温度調節機　ペルサーモ（水冷式）

• ペルチェ温調方式を採用
• 熱電冷却加熱による±0.1℃の高精度な温度制御と小型化を実現
• 特に半導体、液晶、光ディスク、バイオ関連等に最適
• 適用流体：水

	ETU602-AW
温度制御範囲	10.00〜50.00℃
温度制御精度	±0.1（無負荷、安定時）
冷却能力※	600W
循環量（揚程）	5L/min（6.0/8.0m）
冷却方式	電子冷凍PID制御
電源電圧	単相200V、50/60Hz

※設定温度20℃、冷却水温20℃、冷却水量5L/min、恒温水量5L/min

電子式薬液用温度調節器 ケミカルペルサーモ

• ウェットプロセスに欠かせない薬液・超純水をダイレクトに温調
• 接液部オールテフロンの熱交換器採用により各種薬液に対応可能
• 高精度な温度制御と高耐水圧の熱交換器の実現
• ±0.1℃の制御と0.3MPaの耐水圧構造
• 薬液のダイレクト温調でも不純物イオン濃度はきわめて微量
• コンパクトで業界最軽量
• 専用スイッチング電源を採用
• 適用流体：HF/BHF/DHF/SC1/SC2/D1W/DHF/BHF/FRM/SC1

型式	冷熱ユニット	ETN23A-N	ETN45A-N	ETN90A-N
	電源ユニット	ETD232-SA-A	ETD452-SA	ETD832-SA
温度制御範囲		+15〜50℃
制御精度		±0.1℃
制御方式		電子冷凍・PID制御（センサPｔ100Ωはオプション）
冷却能力※		280W	460W	920W
電源電圧		単相200〜240V、50/60Hz

※設定温度25℃、放熱水25℃、放熱水量5〜7L/min、周囲温度25℃時

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