精密温調-圧縮空気温調機器/オリオン機械

用途

ペルチェ温調方式で±0.01℃の温度制御を実現する温湿度制御装置、マイナス温度の圧縮空 気を連続供給する装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。半導体ウェ ハ・フォトリソ工程、液晶製造工程、レーザー加工機冷却、ナノテク加工機器や三次元測定機 器への組み込み、樹脂ブロー成型後の急速冷却など、エアースピンドルといった各種精密加工機 器の局所温調に利用されています。

こんな分野で利用されています。

• 半導体産業
• 液晶・精密機器
• レーザー機械
• 各種工作機械
• 化学・薬品
• 医療機器・分析機器
• 理化学分野

ナノサーモ（圧縮空気温度調節器）

• 圧縮空気温度を±0.01℃に制御
• 電子冷熱の応答性と独自の高精度コントローラにより、高精度温調が可能
• 超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御
• コンパクト設計で省スペースを実現
• 温度制御範囲 15.00〜50.00℃
• 処理空気量 30〜2,000L/min
• 精密加工機、精密計測機、半導体・FPD 製造装置、分析機器、精密塗装機、加工物・計測物の温調などに

形式	ACU100-MD	ACU300-MD	ACU1000B	ACU2000B
使用圧力範囲（ゲージ圧）	0.2〜0.85MPa		0.2〜0.83MPa
供給空気温度	5〜40℃		15〜35℃	15〜30℃
出口温度設定範囲	16〜30℃	16〜30℃	15〜35℃	15〜40℃
温度制御精度※	±0.01℃
出口空気流量	3〜130L/min	50〜390L/min*	100〜1000L/min*	330〜2100L/min
温度制御方式	電子冷凍PID制御（オートチューニング機能付）
電源電圧	単相100V、50/60Hz			単相200V、50/60Hz

※入口・出口空気温度、周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。
　（入口空気温度勾配：１℃/10min以内）
※入口空気圧力が0.2MPa時、本機内圧力損失により、最大流量は次の様になります。
　ACU300-MD：270L/min、ACU1000B：870L/min

コールドフレッシュ（圧縮空気温調機器・圧縮空気冷却装置）

• 出口空気温度範囲：0〜-30℃
• 処理空気量：190〜2050L/min
• 出口圧縮空気圧力・流量調整機能付
• 主冷却・予備冷却運転切替機能付
• 独自のエアーミキシング温度制御の省エネ型

サイズ、製品詳細、カタログ希望、価格照会など、お気軽にお問い合わせください。

仕様・デザイン等は予告なく変更される場合がございます。 また、性能・仕様等の表記はメーカーの基準であり、 使用条件下での性能ではございません。

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